位移傳感器是把物體的運動位移轉(zhuǎn)換成可測量的電學(xué)量一種裝置。通常用于把不便于定量檢測和處理的位移、位置、形變、振動、尺寸等物理量轉(zhuǎn)換為易于定量檢測、便于作信息傳輸與處理的電學(xué)量。

    位移是和物體的位置在運動過程中的移動有關(guān)的量，位移的測量方式所涉及的范圍是相當廣泛的。

    小位移通常用應(yīng)變式、電感式、差動變壓器式（LVDT）、渦流式、霍爾傳感器來檢測，大的位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵、磁致伸縮式等傳感技術(shù)來測量。

    其中磁致伸縮位移傳感器因具有易實現(xiàn)數(shù)字化、精度高、抗干擾能力強、適應(yīng)惡劣環(huán)境、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點，在機床加工、檢測儀表等行業(yè)中得到廣泛的應(yīng)用。

    位移傳感器按工作試驗方法的分類：

    1、按工作試驗方法分：

    （1）電位器式位移傳感器

    它通過電位器元件將機械位移轉(zhuǎn)換成與之成線性或任意函數(shù)關(guān)系的電阻或電壓輸出。普通直線電位器和圓形電位器都可分別用作直線位移和角位移傳感器。

    但是，為實現(xiàn)測量位移目的而設(shè)計的電位器，要求在位移變化和電阻變化之間有一個確定關(guān)系。電位器式位移傳感器的可動電刷與被測物體相連。

    物體的位移引起電位器移動端的電阻變化。阻值的變化量反映了位移的量值，阻值的增加還是減小則表明了位移的方向。

    通常在電位器上通以電源電壓，以把電阻變化轉(zhuǎn)換為電壓輸出。

    ①線繞式電位器：

    由于其電刷移動時電阻以匝電阻為階梯而變化，其輸出特性亦呈階梯形。如果這種位移傳感器在伺服系統(tǒng)中用作位移反饋元件，則過大的階躍電壓會引起系統(tǒng)振蕩。

    因此在電位器的制作中應(yīng)盡量減小每匝的電阻值。電位器式傳感器的另一個主要缺點是易磨損。它的優(yōu)點是：結(jié)構(gòu)簡單，輸出信號大，使用方便，價格低廉。

    ②導(dǎo)電塑料位移傳感器：用特殊工藝將DAP（鄰苯二甲酸二稀丙脂）電阻漿料覆在絕緣機體上，加熱聚合成電阻膜，或?qū)AP電阻粉熱塑壓在絕緣基體的凹槽內(nèi)形成的實心體作為電阻體。

    特點是：平滑性好、分辯力優(yōu)異耐磨性好、壽命長、動噪聲小、可靠性**、耐化學(xué)腐蝕。用于宇宙裝置、dao彈、飛機雷達天線的伺服系統(tǒng)等。

    ③金屬玻璃鈾位移傳感器：用絲網(wǎng)印刷法按照**圖形，將金屬玻璃鈾電阻漿料涂覆在陶瓷基體上，經(jīng)高溫燒結(jié)而成。

    特點是：阻值范圍寬，耐熱性好，過載能力強，耐潮，耐磨等都很好，是很有前途的電位器品種，缺點是接觸電阻和電流噪聲大。

    ④金屬膜位移傳感器：金屬膜電位器的電阻體可由合金膜、金屬氧化膜、金屬箔等分別組成。特點是分辨力高、耐高溫、溫度系數(shù)小、動噪聲小、平滑性好。

    優(yōu)點：便宜，結(jié)構(gòu)簡單、輸出精度較高、線性和穩(wěn)定性好等特點。滯后、蠕變小，

    缺點：外界環(huán)境變化較大時對傳感器影響大，如溫度等影響較大，分辨率不高。

    （2）磁致伸縮位移傳感器

    磁致伸縮位移傳感器，通過內(nèi)部非接觸式的測控技術(shù)**地檢測活動磁環(huán)的**位置來測量被檢測產(chǎn)品的實際位移值的。

    是利用磁致伸縮試驗方法、通過兩個不同磁場相交產(chǎn)生一個應(yīng)變脈沖信號來準確地測量位置的。測量元件是一根波導(dǎo)管，波導(dǎo)管內(nèi)的敏感元件由特殊的磁致伸縮材料制成的。

    測量過程是由傳感器的電子室內(nèi)產(chǎn)生電流脈沖，該電流脈沖在波導(dǎo)管內(nèi)傳輸，從而在波導(dǎo)管外產(chǎn)生一個圓周磁場；

    當該磁場和套在波導(dǎo)管上作為位置變化的活動磁環(huán)產(chǎn)生的磁場相交時，由于磁致伸縮的作用；

    波導(dǎo)管內(nèi)會產(chǎn)生一個應(yīng)變機械波脈沖信號，這個應(yīng)變機械波脈沖信號以固定的聲音速度傳輸，并很快被電子室所檢測到。

    這個應(yīng)變機械波脈沖信號在波導(dǎo)管內(nèi)的傳輸時間和活動磁環(huán)與電子室之間的距離成正比，通過測量時間，就可以高度**地確定這個距離。

    由于輸出信號是一個真正的**值,而不是比例的或放大處理的信號,所以不存在信號漂移或變值的情況,更無需定期重標。

    磁致伸縮位移傳感器是根據(jù)磁致伸縮試驗方法制造的高精度、長行程**位置測量的位移傳感器。

    它采用內(nèi)部非接觸的測量方式，由于測量用的活動磁環(huán)和傳感器自身并無直接接觸，不至于被摩擦、磨損；

    因而其使用壽命長、環(huán)境適應(yīng)能力強，可靠性高，**性好，便于系統(tǒng)自動化工作，即使在惡劣的工業(yè)環(huán)境下(如容易受油潰、塵?；蚱渌奈廴緢龊?，也能正常工作。

    傳感器采用了高科技材料和先進的電子處理技術(shù)，因而它能應(yīng)用在高溫、高壓和高振蕩的環(huán)境中。

    傳感器輸出信號為**位移值，即使電源中斷、重接，數(shù)據(jù)也不會丟失，更無須重新歸零。

    由于敏感元件是非接觸的，就算不斷重復(fù)檢測，也不會對傳感器造成**磨損，可以大大地提高檢測的可靠性和使用壽命。

    行程可達5米或更長，標稱精度為0.05%F·S，行程1米以上傳感器精度可達0.02%F.S，重復(fù)性可達0.002%F·S，因此它得到廣泛的應(yīng)用。

    優(yōu)點：

    高可靠性、高分辨率、耐油抗污、非接觸的測量方式，使用壽命長、環(huán)境適應(yīng)能力強，**性好；

    即使在惡劣的工業(yè)環(huán)境下，也能正常工作，對各種運動部件的位移（位置）、速度進行連續(xù)、**、實時的檢測。此外，它還能承受高溫、高壓和強振動。

    缺點：容易搜磁場干擾，不能與導(dǎo)磁材料一起使用。

    （3）光柵式位移傳感器

    光柵式位移傳感器傳感器指采用光柵疊柵條紋試驗方法測量位移的傳感器。光柵是在一塊長條形的光學(xué)玻璃上密集等間距平行的刻線，刻線密度為10～100線/毫米。

    由光柵形成的疊柵條紋具有光學(xué)放大作用和誤差平均效應(yīng)，因而能提高測量精度。

    傳感器由標尺光柵、指示光柵、光路系統(tǒng)和測量系統(tǒng)四部分組成。標尺光柵相對于指示光柵移動時，便形成大致按正弦規(guī)律分布的明暗相間的疊柵條紋。

    這些條紋以光柵的相對運動速度移動，并直接照射到光電元件上，在它們的輸出端得到一串電脈沖，通過放大、整形、辨向和計數(shù)系統(tǒng)產(chǎn)生數(shù)字信號輸出，直接顯示被測的位移量。

    傳感器的光路形式有兩種：一種是透射式光柵，它的柵線刻在透明材料（如工業(yè)用白玻璃、光學(xué)玻璃等）上；

    另一種是反射式光柵，它的柵線刻在具有強反射的金屬（不銹鋼）或玻璃鍍金屬膜（鋁膜）上。這種傳感器的優(yōu)點是量程大和精度高。

    光柵式傳感器應(yīng)用在程控、數(shù)控機床和三坐標測量機構(gòu)中，可測量靜、動態(tài)的直線位移和整圓角位移。在機械振動測量、變形測量等領(lǐng)域也有應(yīng)用。

    優(yōu)點：檢測范圍大，檢測精度高，響應(yīng)速度快

    缺點：接觸式的量，測量速度一般為1.5m/s以內(nèi)，只能用于靜態(tài)測量。

    （4）LVDT位移傳感器

    LVDT位移傳感器是線性差動變壓式位移傳感器的簡稱，LVDT位移傳感器工作試驗方法是，在一個空心的骨架上饒了3組線圈，一組初級線圈兩組次級線圈；

    當給初級線圈通電時空心的骨架內(nèi)會形成一個磁場，在一個導(dǎo)磁的鐵芯插入中空的骨架里面時，由于切割磁感應(yīng)線試驗方法兩個次級線圈會形成一個微弱的交流電壓；

    當鐵芯移動到某個次級線圈的位置多一點時這個次級線圈輸出的電壓相對于另一個線圈的電壓要要大一些；

    按照搞這個規(guī)律把兩個次級線圈輸出的電壓值經(jīng)過放大，再把兩個電壓值相減，得出一個差值，這個差值與鐵芯在空心骨架里面移動位移是成正比例線性關(guān)系的；

    這個差值再經(jīng)過處理可以處理成-5V、0-10V、4-20mA等模擬量信號或者ModbusSSI等數(shù)字量信號，也是我們使用的LVDT正常輸出的信號。

    優(yōu)點：

    非接觸試驗方法，使用壽命長；響應(yīng)速度快；高線性度；重復(fù)性好；很寬的量程覆蓋范圍；低故障/功耗低/輸入、輸出的多樣性；

    動態(tài)特性好，可用于高速在線檢測，進行自動測量，自動控制；可在潮濕，粉塵等惡劣環(huán)境下使用；

    特殊條件下可工作，如耐高壓，高溫，耐輻射，全密土封在水下工作；能承受沖擊達150g/11ms，振動頻率2KHZ加速度20g；體積小，價格低，性能價格比高。

    缺點：對于超大行程來說(超過1米)，生產(chǎn)難度大，傳感器和拉桿之和長度將達2米以上，使用不方便，且線性度也不高。

    （5）激光位移傳感器

    激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進行測量的傳感器。它由激光器、激光檢測器和測量電路組成的測量儀表。

    能夠**非接觸測量被測物體的位置、位移等變化。可以測量位移、厚度、振動、距離、直徑等精密的幾何測量。

    優(yōu)點：激光有線性度度好的優(yōu)良特性，同樣激光位移傳感器相對于我們已知的超聲波傳感器有更高的精度。

    缺點：激光的產(chǎn)生裝置相對比較復(fù)雜且體積較大，因此會對應(yīng)用范圍要求較苛刻。要求測量空間較大，不太適用于小空間。

    （6）電渦流式位移傳感器

    電渦流傳感器能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導(dǎo)體距探頭表面距離。

    它是一種非接觸的線性化計量工具。電渦流傳感器能準確測量被測體（必須是金屬導(dǎo)體）與探頭端面之間靜態(tài)和動態(tài)的相對位移變化。

    在高速旋轉(zhuǎn)機械和往復(fù)式運動機械狀態(tài)分析，振動研究、分析測量中，對非接觸的高精度振動、位移信號，能連續(xù)準確地采集到轉(zhuǎn)子振動狀態(tài)的多種參數(shù)。如軸的徑向振動、振幅以及軸向位置。

    優(yōu)點：

    體積更小、可靠性好、測量范圍寬、靈敏度高、分辨率高；高分辨率和高采樣率；可自行調(diào)整零位、增益和線性；

    可選擇延長電纜、溫度補償?shù)裙δ?；可測鐵磁和非鐵磁所有金屬材料；

    具有多傳感器同步功能；不受潮濕、灰塵的影響，對環(huán)境要求低；在大型旋轉(zhuǎn)機械狀態(tài)的在線監(jiān)測與故障診斷中得到廣泛應(yīng)用。"

    （7）電容式位移傳感器

    電容位移傳感器是一種非接觸電容式試驗方法的精密測量儀器。

    電容式位移傳感器的電容器極板多為金屬材料，極板間襯物多為無機材料，如空氣、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高溫、低溫強磁場、強輻射下長期工作，尤其是解決高溫高壓環(huán)境下的檢測難題。

    在**研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測試儀器。

    該傳感器還可與控制室中的二次儀表或控制器相連，在線、連續(xù)、實時的檢測各種數(shù)據(jù)然后直接顯示，遠程控制和報警。實現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲，積算、傳輸和控制功能。廣泛應(yīng)用于各種注塑機中。

    電容式位移傳感器尤其適合緩慢變化或微小量的測量，一般來說采用電容式傳感器進行檢測比較適宜。電容式位移傳感器的這些性能必然促使其應(yīng)用范圍越來越廣泛。

    主要用于解決壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等測量問題。

    優(yōu)點：具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。

    缺點：量程比較小，一般只有幾十個毫米，容易受外界干擾和分布參數(shù)的影響。

    （8）霍爾式位移傳感器

    霍爾位移傳感器主要由兩個半環(huán)形磁鋼組成的梯度磁場和位于磁場**的鍺材料半導(dǎo)體霍爾片（敏感元件）裝置構(gòu)成。

    此外，還包括測量電路（電橋、差動放大器等）及顯示部分。

    是兩個結(jié)構(gòu)相同的直流磁路系統(tǒng)共同形成一個沿x軸的梯度磁場。為使磁隙中的磁場得到較好的線性分布，在磁**面裝有特殊形式的極靴。用它制作的位移傳感器靈敏度很高?；魻柶糜趦蓚€磁場中，細心調(diào)整它的初始位置，即可使初始狀態(tài)的霍爾電勢為零。它的位移量較小，適于測量微位移和機械振動等。

    霍爾測位移有兩種：

    一種是用線性霍爾測元件與磁鐵之間的距離，根據(jù)線性霍爾元件的輸出信號可判斷出與磁鐵的間距，此種方式應(yīng)用有測試紙張厚度，金屬材料形變等微小位移，也有油門踏板等距離稍大的應(yīng)用；另一種是用開關(guān)型霍爾元件做機械的角度或者位移定位。

    比如汽車換擋桿的檔位檢測，換擋桿到相應(yīng)位置時下面有個霍爾傳感器，此時就能感應(yīng)到檔位。這類應(yīng)用非常多。

    特點：

    (1)傳感器的控制電流為1～5mA,功耗小、靈敏度高、分辨率高;

    (2)試驗方法簡單、實現(xiàn)方法容易、可靠性高、重復(fù)性好;

    (3)體積小、重量輕、壽命長;

    (4)檢測電路穩(wěn)定可靠,測試結(jié)果穩(wěn)定到5位讀數(shù),精度高;

    (5)硬件的補償可以基本上**溫度對傳感器的影響;

    (6)易于推廣到其他非電量如振動、流量、壓力、壓差等領(lǐng)域的測試,具有**的推廣應(yīng)用價值。

    優(yōu)點：輸出變化量大、靈敏度高、分辨力高、質(zhì)量輕、慣性小、反應(yīng)速度快;霍爾元件的頻響范圍寬,適合作動態(tài)位移測試

    （9）超聲波位移傳感器

    超聲波位移傳感器是采用超聲波回波測距試驗方法，運用**的時差測量技術(shù)，檢測傳感器與目標物之間的距離的傳感器。

    優(yōu)點：非接觸式測量，比較衛(wèi)生，測量準確，無接觸，防水，可以檢測腐蝕性很高的介質(zhì)?？蓱?yīng)于液位，物位檢測，特有的液位，料位檢測方式，可保證在液面有泡沫或大的晃動，不易檢測到回波的情況下有穩(wěn)定的輸出。

    缺點：超聲波的發(fā)生接收對環(huán)境的要求比較高，在環(huán)境比較惡劣的情況下，超聲波傳感器不怎么適用。