1.真空計(jì)在使用時(shí)應(yīng)該注意的問題 　　【***使用手冊】真空計(jì)是用來測量真空度或氣壓的儀器，通常是利用不同氣壓下氣體某種物理效應(yīng)的變化而進(jìn)**壓的測量，在科研和工業(yè)生產(chǎn)中有非常廣泛的使用。按照真空計(jì)測量試驗(yàn)方法的不同，可將真空計(jì)分為力學(xué)性能、氣體動(dòng)力學(xué)和帶電粒子效應(yīng)三種?！　≡谡婵沼?jì)使用過程中也有一些需要注意的事項(xiàng)，否則會(huì)損壞儀器或者造成測量不準(zhǔn)確?！　?、運(yùn)輸及使用時(shí)必須嚴(yán)防倒置平臥，以防水銀倒回真空像皮管內(nèi)堵塞毛細(xì)管影響測量精度?！　?、在測量時(shí)真空表為直立狀態(tài)，嚴(yán)禁將**氣體強(qiáng)烈地沖入真空系統(tǒng)以免擊碎玻璃管。　　3、真空計(jì)內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過理化方法處理，所以有**的清潔性。若長期使用導(dǎo)致水銀氧化污染而影響測量精度，應(yīng)及時(shí)聯(lián)系廠家修理?！　?、測量結(jié)束后，應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計(jì)內(nèi)水銀清潔，也能避免真空計(jì)被取下分離時(shí)大氣沖擊真空計(jì)使其破碎。　　5、如果沒有將真空計(jì)取下，應(yīng)在機(jī)械真空泵停止后將機(jī)械泵與真空系統(tǒng)氣路斷開，并將機(jī)械泵內(nèi)放入大氣以免機(jī)械泵油返入真空系統(tǒng)及真空計(jì)受到油的污染。　　6、橫臥過程中可能出現(xiàn)水銀珠位于玻璃容器入口處，可將壓力計(jì)稍微倒轉(zhuǎn)收回水銀珠?！　?、運(yùn)輸和使用不慎會(huì)導(dǎo)致水銀珠進(jìn)入并粘附于中間玻璃毛細(xì)管，可用機(jī)械真空泵對真空計(jì)抽氣并往復(fù)擺動(dòng)真空計(jì)，使水銀珠回流?！　?、真空計(jì)使用完畢應(yīng)將橡皮管扎緊，先關(guān)閉真空閥再關(guān)閉真空泵，以防真空泵內(nèi)的油進(jìn)入真空計(jì)和真空系統(tǒng)。　　9、要保持水銀的純度，水銀受污染會(huì)影響測量的精度?！　?0、真空計(jì)短期內(nèi)不使用，可用鐵扎頭扎緊橡皮管，用紗布拭去橡皮管的油脂，再用塞頭堵塞內(nèi)經(jīng)，置于干燥、通風(fēng)、避光處保存。 2.電阻真空計(jì)的試驗(yàn)方法是怎樣的？

電阻真空計(jì)即采用電阻技術(shù)的真空計(jì)，一般先校準(zhǔn)零點(diǎn)，再進(jìn)行滿度校準(zhǔn)。

試驗(yàn)方法

金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細(xì)線,兩端連接電極。

通過電極給白金細(xì)線提供電流時(shí),白金細(xì)線會(huì)發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細(xì)線或熱輻射或通過固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會(huì)被奪走。

單位時(shí)間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時(shí)以下公式成立

Q=I2R=Qg+Qr+Qs(1)

Q是單位時(shí)間細(xì)線放出的熱量,R是細(xì)線的電阻,I是細(xì)線的電流。

氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時(shí),Qg通過自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為

Qg=αΛπda(T-T0)p(2)

如圖所示,T和T0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細(xì)線長度。剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

Qs=Sκ(T-T0)/L(3)

Qr=πdaσε(T4-T04)(4)

(3)是電極的熱傳導(dǎo),其中S是細(xì)線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,L是電極的長度。

(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。如果保持T和T0**,則(3)和(4)式為常數(shù)。如果用I02R表示**量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為

I2R=Ap+I02R(5)

A=αΛπda(T-T0)(6)

I0是壓力為0的時(shí)候細(xì)線的電流,是彌補(bǔ)固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數(shù)如果已知細(xì)線的電阻R,電流I0及定數(shù)A,則可以通過(5)式求得壓力P。

校準(zhǔn)

一般先校準(zhǔn)零點(diǎn)，再進(jìn)行滿度校準(zhǔn)。

(1)校準(zhǔn)零點(diǎn)。

校準(zhǔn)零點(diǎn)需對被測真空系統(tǒng)抽真空，一旦電離規(guī)測得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9X10^-2Pa)，按"校零"按鈕，對應(yīng)指示燈亮或快速閃爍，真空計(jì)自動(dòng)校正零點(diǎn)，當(dāng)顯示1.0^-1Pa時(shí)，表示規(guī)管零點(diǎn)已校準(zhǔn)。

對于無自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)的電阻真空計(jì)，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。

(2)滿度校正。

校準(zhǔn)完零點(diǎn)后，需對其滿度校正。按滿度校正過程要求，對被測爐腔放人大氣，確保被校電阻規(guī)所測位置為大氣狀態(tài)，在大氣壓下工作約10分鐘。

按"滿度"按鈕，對應(yīng)指示燈亮或快速閃爍，真空計(jì)自動(dòng)校正滿度，當(dāng)顯示1.0^5Pa時(shí)，表示規(guī)管滿度已校準(zhǔn)。

對于無自動(dòng)滿度校準(zhǔn)的電阻真空計(jì)，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。

3.真空計(jì)按試驗(yàn)方法可以分哪幾類? 真空計(jì)按試驗(yàn)方法可以分哪幾類?

　　真空計(jì)是按照真空計(jì)測量試驗(yàn)方法所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

　　按真空計(jì)測量試驗(yàn)方法分類

　　直接測量真空計(jì)

　　這種真空計(jì)直接測量單位面積上的力，有：

　?。?）靜態(tài)液位真空計(jì)：利用U型管兩端液面差來測量壓力。

　?。?）彈性元件真空計(jì)：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。

　　間接測量真空計(jì)

　　壓力為10-1Pa時(shí)，作用在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計(jì)有：

　?。?）壓縮式真空計(jì)：其試驗(yàn)方法是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律，即將**量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計(jì)測量，然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測壓力。

　?。?）熱傳導(dǎo)真空計(jì)：利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一試驗(yàn)方法制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。

　?。?）熱輻射真空計(jì)：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)試驗(yàn)方法。

　?。?）電離真空計(jì)：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的試驗(yàn)方法。如：熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。

　?。?）放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測量。

　?。?）粘滯真空計(jì)：利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦試驗(yàn)方法。如振膜式真空計(jì)和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。

　?。?）場致顯微儀：以吸附和解吸時(shí)間與壓力關(guān)系計(jì)算壓力。

　?。?）分壓力真空計(jì)：利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)和射頻質(zhì)譜。